MEMS (Microelectromechanical Systems) and Sensors

课程简介

MEMS概览：介绍MEMS及其应用、分类、工业增长、挑战和技术趋势。 MEMS设计与制造：包括器件物理知识，如梁理论、静电和热驱动、电容和压阻效应，用于MEMS的设计。MEMS的制造过程，如硅蚀刻、晶圆键合和蚀刻停止，特定的MEMS制造技术，如体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺、SOI深RIE工艺，以及非硅MEMS微机械加工工艺等。 MEMS作为传感器的应用：使用MEMS进行机械（运动）传感、光学传感、热传感、磁传感，以及化学和生物传感。 基于CMOS的MEMS技术：将MEMS与CMOS电路集成到单个芯片上的概念。传感器的微型化和性能提升的优势。

学习目标

学习MEMS设计与制造的最新进展。理解MEMS的检测和驱动原理。MEMS在检测运动、热、光学、化学和生物特性方面的应用。MEMS与CMOS集成电路的集成。

先修要求

无

教学模式

讲授：将描述MEMS及其作为传感器的应用基础知识。学生可以自由请求帮助。鼓励学生解决问题，并在寻求帮助之前利用知识验证解决方案。 辅导：在辅导课上安排一系列问题和小组讨论主题。鼓励学生在讨论解决方案之前先解决问题。