Science and Technology of Micro- and Nano- systems

课程简介

• 微纳系统科学与技术概览 • 微纳系统中的物理学：微纳系统力学、微纳系统流体动力学、微纳系统热传导及纳米系统中的量子现象。 • 微纳制造原理与技术：基本的微纳制造技术、MEMS制造技术、封装、测量技术及计算机辅助设计。 • 应用与器件：微加速度计和压力传感器的设计、微流控系统、生物化学及医疗应用、MEMS在信息技术和纳米电子学中的应用等。

学习目标

向来自不同学科的研究学生介绍微纳技术领域的知识。

先修要求

无

教学模式

提供四次实验，让学生体验纳米压痕、原子力显微镜、碳纳米管的制备与操作以及部分MEMS器件的操作。