Microelectronic Devices and Fabrication

课程简介

微电子器件：介绍器件构建块、器件物理（例如，MOSFET、激光器、光电探测器）及其在电子电路中的作用。 制造工艺：不同制造模块（包括晶体生长、光刻、蚀刻、薄膜沉积、离子注入等）及其在器件制造中的作用。 技术趋势：技术发展趋向高密度、高速度和低功耗。

学习目标

本课程旨在让学生掌握微电子器件和制造工艺的基本知识，并深刻理解器件设计与制造工艺之间的关系。

先修要求

无

教学模式

授课模式：通过讲座和辅导课，解释微电子器件制造和加工的基本原理，特别是基于硅的平台。将提供具体示例来说明不同设计的微电子器件之间的差异。布置作业以评估学生的学习进度。 作业与考试：学生将在家庭作业中完成问题集，这为他们提供了应用讲座中获得的知识的机会。